也可以作為通用灰化爐使用當馬弗爐次使用或長(cháng)期停用后使用時(shí)，必須進(jìn)行烘爐
3、抽了真空的馬弗爐如何充入氮氣？



這個(gè)工具安置了之后就可以解放工作人員了2．工作環(huán)境條件為：溫度0～50℃

AMC對當前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多，粒子污染控制只要確定粒徑及個(gè)數，但對AMC控制而言，除了受芯片線(xiàn)寬的縮小而變化外，并受工藝、工藝設備、工藝材料及園片傳送系統等的影響，更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子對下一工序往往可能是污染物，而園片加工工序當前已多于3多個(gè)獨立工序，對AMC控制指標的確定更是復雜。
IC生產(chǎn)對AMC的控制，對不同的產(chǎn)品、不同的工藝、不同的工序及不同的工藝材料會(huì )有不同的要求，對各種污染物質(zhì)的要求當前總的說(shuō)法是控制在亞pptm～1pptm間。