全自動(dòng)晶圓退火前清洗機設計的系統，獨立系統，占地面積小，非常適合有限的空間。具有4路化學(xué)液清洗，兆聲清洗，雙面PVA刷洗，去離子水沖洗等清洗模塊，對晶圓有**的清洗能力。

全自動(dòng)晶圓退火前清洗機產(chǎn)品特色：

晶圓*大 300mm

PVA雙面刷洗

支持4路化學(xué)液清洗，包括氨水與SCI液體

全自動(dòng)晶圓退火前清洗機工作臺含驅動(dòng)組件，用于晶圓低速旋轉（50-100 rpm）

化學(xué)清洗臂含 4 路化學(xué)液

具有去離子水和稀釋氨分配的水坑噴嘴

具有去離子水的 BSR（背面沖洗）噴嘴

全自動(dòng)晶圓退火前清洗機具有帶有流通孔的工藝室

標配三種不同化學(xué)品供應系統

工藝室外的手動(dòng)去離子水槍。

化學(xué)液可加熱，*高可達 60°C（*高85°C ）

外部可更換化學(xué)液

全自動(dòng)晶圓退火前清洗機支持兆聲清洗

支持高壓等離子水沖洗

全自動(dòng)晶圓退火前清洗機技術(shù)數據：

襯底尺寸: ?200 mm (?8 inch) 或 ?300 mm (?12 inch)

電機轉速: *大 3.000 rpm, 步長(cháng) 1rpm

電機加速: 1 至 999.9 秒，步長(cháng) 0.1 s

全自動(dòng)晶圓退火前清洗機工藝腔室: 由 PP 白色制成（可選 PVDF)