排氣速度　50L?min、230L?min、500L?min 3種產(chǎn)品■ 極限壓力　DSP50：20Pa、DSP250 ? 500：0.5Pa■ 潔凈排氣　沒(méi)有油蒸氣，粒子的逆流■ 無(wú)潤滑油　無(wú)同步齒輪，也不需要潤滑油■ 攜帶方便　小型，輕量，抗外部干擾■ 空冷規格　不需要冷卻水■ 初期排氣時(shí)間短　大氣壓附近排氣速度快■ 節能　低消費電力設計用途?SEM，光刻?醫療設備?裝載室，搬送室排氣?分析儀器?加速器，離子源，電子槍的排氣?一般產(chǎn)業(yè)?PVD ?R&D規格外觀(guān)尺寸表性能曲線(xiàn)型　號DSP50DSP250DSP500排氣速度(L/min)大50230500開(kāi)放氣鎮時(shí)36200430極限壓力(Pa)通常200.5開(kāi)放氣鎮時(shí)2002.0連接形式吸氣口KF16KF25KF40排氣口Rc1KF25所需電力(W)極限壓力時(shí)大380600電源電壓（V）頻率（Hz）50/60相數單相容許變動(dòng)電壓±10%冷卻方式空冷重量（kg）91520